Системы охлаждения жидким азотом широко используются в полупроводниковой промышленности и производстве микросхем, включая процессы:
- Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)
- Тест чипа после упаковки COB
Сопутствующие товары
Серия вакуумно-изолированных труб
Серия гибких шлангов с вакуумной изоляцией
Система динамического вакуумного насоса
Серия вакуумно-изолированных фазовых разделителей
Серия вакуумно-изолированных клапанов
Вспомогательное оборудование трубопроводной системы
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) была разработана в 1950-х годах для получения тонкоплёночных полупроводниковых материалов методом вакуумного испарения. С развитием технологий сверхвысокого вакуума её применение распространилось и на область полупроводниковой науки.
Компания HL заметила спрос на систему охлаждения жидким азотом на основе МЛЭ, организовала техническую базу для успешной разработки специальной системы охлаждения жидким азотом на основе МЛЭ для технологии МЛЭ и полного комплекта системы трубопроводов с вакуумной изоляцией, которая используется на многих предприятиях, в университетах и научно-исследовательских институтах.
К общим проблемам полупроводниковой и микросхемной промышленности относятся:
- Давление жидкого азота в терминальном оборудовании (MBE). Предотвращение повреждения терминального оборудования (MBE) из-за перегрузки по давлению.
- Несколько регуляторов впуска и выпуска криогенной жидкости
- Температура жидкого азота в терминальном оборудовании
- Разумное количество выбросов криогенного газа
- (Автоматическое) переключение основных и ответвлений линий
- Регулировка (снижение) давления и стабильность VIP
- Очистка резервуара от возможных примесей и остатков льда
- Время наполнения терминального жидкостного оборудования
- Предварительное охлаждение трубопровода
- Сопротивление жидкости в системе VIP
- Контроль потерь жидкого азота при перерывах в работе системы
Вакуумно-изолированные трубы (VIP) компании HL производятся в соответствии со стандартом ASME B31.3 «Напорные трубопроводы». Инженерный опыт и возможности контроля качества гарантируют эффективность и экономичность оборудования заказчика.
РЕШЕНИЯ
Компания HL Cryogenic Equipment предоставляет заказчикам систему вакуумно-изолированных трубопроводов, отвечающую требованиям и условиям полупроводниковой и микросхемной промышленности:
1.Система менеджмента качества: Стандарт ASME B31.3 «Напорные трубопроводы».
2. Специальный фазовый сепаратор с несколькими входами и выходами криогенной жидкости с функцией автоматического управления отвечает требованиям по выбросам газа, рециркулируемому жидкому азоту и температуре жидкого азота.
3.Адекватное и своевременное проектирование выхлопных систем гарантирует, что конечное оборудование всегда будет работать в пределах расчетного значения давления.
4. Газожидкостный барьер устанавливается в вертикальной трубе VI в конце трубопровода VI. Газожидкостный барьер использует принцип газового уплотнения для блокировки передачи тепла от конца трубопровода VI в трубопровод VI и эффективно снижает потери жидкого азота при периодической и нерегулярной работе системы.
5. Трубопроводы VI, управляемые вакуумно-изолированными клапанами (VIV): включают вакуумно-изолированные (пневматические) запорные клапаны, вакуумно-изолированные обратные клапаны, вакуумно-изолированные регулирующие клапаны и т.д. Различные типы VIV могут быть объединены в модульную систему для управления VIP по мере необходимости. VIV интегрируется с VIP на заводе-изготовителе, без необходимости проведения изоляции на месте. Уплотнительный узел VIV легко заменяется. (HL принимает криогенные клапаны, указанные заказчиками, и затем изготавливает вакуумно-изолированные клапаны. Некоторые марки и модели клапанов могут не подходить для изготовления вакуумно-изолированных клапанов.)
6. Чистота. Если к чистоте внутренней поверхности трубы предъявляются дополнительные требования. Рекомендуется выбирать трубы из нержавеющей стали марок BA или EP в качестве внутренних труб VIP для дополнительного снижения количества просыпанной нержавеющей стали.
7. Вакуумный изолированный фильтр: очищает резервуар от возможных загрязнений и остатков льда.
8. После нескольких дней или более простоя или технического обслуживания крайне важно предварительно охладить трубопроводы VI и оконечное оборудование перед подачей криогенной жидкости, чтобы избежать образования ледяного шлака после непосредственного попадания криогенной жидкости в трубопроводы VI и оконечное оборудование. Функция предварительного охлаждения должна быть предусмотрена при проектировании. Она обеспечивает лучшую защиту конечного оборудования и вспомогательного оборудования трубопроводов VI, например, клапанов.
9. Подходит как для динамических, так и для статических вакуумно-изолированных (гибких) трубопроводных систем.
10. Динамическая вакуумно-изолированная (гибкая) трубопроводная система: состоит из гибких шлангов VI и/или труб VI, соединительных шлангов, системы клапанов с вакуумной изоляцией, фазоразделителей и динамической вакуумной насосной системы (включая вакуумные насосы, электромагнитные клапаны, вакуумметры и т.д.). Длина одного гибкого шланга VI может быть изменена в соответствии с требованиями пользователя.
11. Различные типы соединений: вакуумное байонетное соединение (VBC) и сварное соединение. Соединение типа VBC не требует дополнительной изоляции на месте.
