Системы охлаждения жидким азотом широко используются в полупроводниковой и чиповой промышленности, в том числе в процессе
- Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)
- Тест чипа после упаковки COB
Сопутствующие товары
Серия труб с вакуумной изоляцией
Серия гибких шлангов с вакуумной изоляцией
Динамическая вакуумная насосная система
Серия фазовых сепараторов с вакуумной изоляцией
Серия клапанов с вакуумной изоляцией
Вспомогательное оборудование трубопроводной системы
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) была разработана в 1950-х годах для получения полупроводниковых тонкопленочных материалов с использованием технологии вакуумного испарения. С развитием технологии сверхвысокого вакуума ее применение распространилось на область науки о полупроводниках.
Компания HL заметила потребность в системе охлаждения жидким азотом MBE, организовала техническую основу для успешной разработки специальной системы охлаждения жидким азотом MBE для технологии MBE и полного комплекта системы трубопроводов с вакуумной изоляцией, которая использовалась на многих предприятиях, университетах и исследовательских институтах. .
Общие проблемы полупроводниковой и чиповой промышленности включают в себя:
- Давление жидкого азота в терминальном (МБЭ) оборудовании. Предотвратите перегрузку давления из-за повреждения оборудования терминала (MBE).
- Несколько элементов управления входом и выходом криогенной жидкости
- Температура жидкого азота в терминальном оборудовании
- Разумное количество выбросов криогенных газов
- (Автоматическое) переключение магистральных и ответвительных линий
- Регулировка давления (снижение) и стабильность VIP
- Очистка резервуара от возможных примесей и остатков льда
- Время наполнения терминального жидкостного оборудования
- Предварительное охлаждение трубопровода
- Устойчивость к жидкости в VIP-системе
- Контроль потерь жидкого азота при перерывах в работе системы
Трубы с вакуумной изоляцией (VIP) компании HL в качестве стандарта изготавливаются в соответствии с нормами ASME B31.3 для напорных трубопроводов. Инженерный опыт и возможность контроля качества обеспечивают эффективность и экономичность установки заказчика.
РЕШЕНИЯ
HL Cryogenic Equipment предоставляет клиентам систему трубопроводов с вакуумной изоляцией, отвечающую требованиям и условиям полупроводниковой и чиповой промышленности:
1. Система управления качеством: Кодекс трубопроводов под давлением ASME B31.3.
2.Специальный фазовый сепаратор с несколькими входами и выходами для криогенной жидкости с функцией автоматического управления отвечает требованиям по выбросам газов, переработанному жидкому азоту и температуре жидкого азота.
3. Адекватная и своевременная конструкция выхлопных газов гарантирует, что терминальное оборудование всегда будет работать в пределах расчетного значения давления.
4. Газожидкостный барьер размещается в вертикальной трубе VI в конце трубопровода VI. Газожидкостный барьер использует принцип газового уплотнения для блокирования тепла от конца трубопровода VI к трубопроводу VI и эффективно снижает потери жидкого азота во время прерывистой и прерывистой эксплуатации системы.
5. Трубопровод VI, управляемый клапаном с вакуумной изоляцией (VIV): серия включает запорный клапан с вакуумной изоляцией (пневматический), обратный клапан с вакуумной изоляцией, регулирующий клапан с вакуумной изоляцией и т. д. Различные типы VIV могут быть модульно объединены для управления VIP как необходимый. VIV интегрирован с заводским изготовлением VIP без изоляционной обработки на месте. Узел уплотнения VIV можно легко заменить. (HL принимает марку криогенного клапана, указанную клиентами, а затем производит клапаны с вакуумной изоляцией от HL. Некоторые марки и модели клапанов не могут быть преобразованы в клапаны с вакуумной изоляцией.)
6.Чистота, если есть дополнительные требования к чистоте поверхности внутренней трубы. Клиентам рекомендуется выбирать трубы из нержавеющей стали BA или EP в качестве внутренних труб VIP, чтобы еще больше уменьшить утечку нержавеющей стали.
7. Фильтр с вакуумной изоляцией: Очистите бак от возможных примесей и остатков льда.
8. После нескольких дней или более длительного отключения или технического обслуживания крайне необходимо предварительно охладить трубопровод VI и терминальное оборудование перед вводом криогенной жидкости, чтобы избежать образования ледяного шлака после того, как криогенная жидкость непосредственно попадает в трубопровод VI и терминальное оборудование. При проектировании следует учитывать функцию предварительного охлаждения. Он обеспечивает лучшую защиту оконечного оборудования и вспомогательного оборудования для трубопроводов VI, такого как клапаны.
9. Подходит как для динамической, так и для статической вакуумной изоляции (гибкой) системы трубопроводов.
10. Гибкая система трубопроводов с динамической вакуумной изоляцией: состоит из гибких шлангов VI и/или трубы VI, шлангов-перемычек, системы клапанов с вакуумной изоляцией, фазовых сепараторов и системы динамических вакуумных насосов (включая вакуумные насосы, электромагнитные клапаны, вакуумметры и т. д.). ). Длина одного гибкого шланга VI может быть настроена в соответствии с требованиями пользователя.
11. Различные типы соединений: можно выбрать тип вакуумного байонетного соединения (VBC) и сварное соединение. Тип VBC не требует изолирующей обработки на месте.
