Системы жидкого азота охлаждения широко используются в промышленности полупроводников и чипов, включая процесс,
- Технология эпитаксии молекулярного луча (MBE)
- Тест чипа после пакета COB
Связанные продукты
Вакуумная изолированная серия труб
Вакуумная изолированная серия гибких шлангов
Динамическая вакуумная система насоса
Серия вакуумной изолированной фазовой серии
Вакуумная серия клапанов
Оборудование для поддержки системы трубопроводов
Эпитаксия молекулярного луча
Технология эпитаксии молекулярного луча (MBE) была разработана в 1950 -х годах для подготовки полупроводниковых тонкопленочных материалов с использованием технологии вакуумного испарения. С разработкой сверхвысоких вакуумных технологий применение технологий было распространено на область полупроводниковой науки.
HL заметил спрос на систему жидкого азота MBE, организованную техническую основу для успешного разработки специальной системы COO -азота MBE для технологии MBE и полного набора вакуумной изолированной системы трубопроводов, которая использовалась во многих предприятиях, университетах и исследовательских институтах.
Общие проблемы индустрии полупроводников и чипов включают в себя,
- Давление жидкого азота на терминальное (MBE) оборудование. Предотвратить перегрузку давления от повреждения терминального (MBE) оборудования.
- Многочисленные криогенные впускные и выходные контрольные управления
- Температура жидкого азота в терминальное оборудование
- Разумное количество криогенных выбросов газа
- (Автоматическое) переключение основных и отраслевых линий
- Регулировка давления (уменьшение) и стабильность VIP
- Очистка возможных примесей и остатков льда от танка
- Время заполнения терминального жидкого оборудования
- Предварительный охлаждение трубопровода
- Сопротивление жидкости в VIP -системе
- Контрольная потеря жидкого азота во время прерывистого обслуживания системы
Вакуумная изолированная труба HL (VIP) построена в качестве стандарта ASME B31.3. Инженерный опыт и способность контроля качества для обеспечения эффективности и экономической эффективности завода клиента.
Решения
Криогенное оборудование HL предоставляет клиентам систему вакуумных изолированных трубопроводов для удовлетворения требований и условий индустрии полупроводников и чипов:
1. Система управления качеством: ASME B31.3 Код трубопровода.
2. Специальный фазовый сепаратор с множественным криогенным входом и выходом жидкости с автоматической управляющей функцией соответствует требованиям выброса газа, переработанного жидкого азота и температуры жидкого азота.
3. Одеждая и своевременная конструкция выхлопных газов гарантирует, что терминальное оборудование всегда работает в рамках спроектированного значения давления.
4. Газо-жидкий барьер помещается в вертикальную трубу VI в конце трубопровода VI. Газо-жидкий барьер использует принцип газового уплотнения для блокировки тепла от конца трубопровода VI в трубопровод VI и эффективно снизить потерю жидкого азота во время прерывистого и прерывистого обслуживания системы.
5. VI Трубопроводы, контролируемые серией вакуумного изолированного клапана (VIV): включая вакуумный изолированный (пневматический) отключенный клапан, вакуумный контрольный клапан, вакуумный регулирующий клапан и т. Д. VIV интегрируется с вип-сборкой у производителя, без изолированной обработки на месте. Блок уплотнения VIV можно легко заменить. (HL принимает бренд криогенного клапана, обозначенную клиентами, а затем производит вакуумные изолированные клапаны HL. Некоторые бренды и модели клапанов могут быть не в состоянии быть введены в вакуумные изолированные клапаны.)
6. Чувство, если есть дополнительные требования для чистоты поверхности внутренней трубки. Предполагается, что клиенты выбирают трубки BA или EP из нержавеющей стали в качестве VIP -внутренних труб, чтобы еще больше уменьшить разлив из нержавеющей стали.
7. Вакуум изолированный фильтр: Очистите возможные примеси и остатки льда от резервуара.
8. После нескольких дней или дольше отключения или технического обслуживания очень необходимо предварительно охладить трубопровод и терминальное оборудование VI до входа криогенной жидкости, чтобы избежать ледяного шлака после того, как криогенная жидкость непосредственно входит в трубопровод VI и терминальное оборудование. Функция предварительного охлаждения должна рассматриваться в дизайне. Он обеспечивает лучшую защиту для терминального оборудования и оборудования для опорной трубопроводы, такого как клапаны.
9. Сделайте для динамической и статической вакуумной изолированной (гибкой) системы трубопроводов.
10. Система трубопроводов с кремической вакуумной изолированной (гибкой) трубопровода: состоят из гибких шлангов VI и/или трубы VI, шлангов перемычки, вакуумных изолированных клапанов, фазовых сепараторов и динамической вакуумной насосной системы (включая вакуумные насосы, соленоидные клапаны и вакуумные датчики и т. Д.). Длина отдельного гибкого шланга VI может быть настроена в соответствии с требованиями пользователя.
11. Различные типы соединений: может быть выбрана тип вакуумного штыка (VBC) и сварное соединение. Тип VBC не нуждается в изолированном лечении на месте.
