Системы охлаждения жидким азотом широко используются в полупроводниковой и микросхемной промышленности, в том числе в таких процессах, как:
- Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)
- Тестирование чипа после упаковки в COB-корпус.
Сопутствующие товары
Серия вакуумно-изолированных труб
Серия вакуумно-изолированных гибких шлангов
Система динамического вакуумного насоса
Серия вакуумно-изолированных фазовых сепараторов
Серия вакуумно-изолированных клапанов
Оборудование для поддержки трубопроводных систем
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) была разработана в 1950-х годах для получения полупроводниковых тонкопленочных материалов с использованием технологии вакуумного испарения. С развитием сверхвысоковакуумной технологии область применения этой технологии расширилась и на область полупроводниковой науки.
Компания HL, заметив спрос на систему охлаждения жидким азотом для молекулярно-пучковой эпитаксии (МБЭ), организовала техническую базу для успешной разработки специальной системы охлаждения жидким азотом для МБЭ-технологии, а также полного комплекта вакуумно-изолированных трубопроводов, которые используются во многих предприятиях, университетах и научно-исследовательских институтах.
К числу распространенных проблем полупроводниковой и микросхемной промышленности относятся:
- Давление жидкого азота в терминальном оборудовании. Предотвращение перегрузки по давлению, которая может повредить терминальное оборудование.
- Многоканальное управление подачей и отводом криогенной жидкости
- Температура жидкого азота, поступающего в терминальное оборудование.
- Разумный уровень выбросов криогенных газов
- (Автоматическое) переключение магистральных и ответвленных линий.
- Регулировка (снижение) давления и стабилизация VIP-системы
- Очистка резервуара от возможных примесей и остатков льда.
- Время заполнения терминального жидкостного оборудования
- Предварительное охлаждение трубопровода
- Жидкостная стойкость в VIP-системе
- Контроль потерь жидкого азота при прерывистой работе системы.
Вакуумные изолированные трубы (VIP) компании HL изготавливаются в соответствии со стандартом ASME B31.3 для трубопроводов высокого давления. Инженерный опыт и возможности контроля качества гарантируют эффективность и экономичность работы предприятия заказчика.
РЕШЕНИЯ
Компания HL Cryogenic Equipment предоставляет клиентам вакуумно-изолированные трубопроводные системы, отвечающие требованиям и условиям полупроводниковой и микросхемной промышленности:
1. Система управления качеством: ASME B31.3, Кодекс по трубопроводам высокого давления.
2. Специальный фазовый сепаратор с несколькими криогенными входами и выходами для жидкости, оснащенный функцией автоматического управления, отвечает требованиям по выбросам газа, рециркулируемому жидкому азоту и температуре жидкого азота.
3. Адекватная и своевременная разработка системы отвода отработанных газов гарантирует, что терминальное оборудование всегда будет работать в пределах заданного значения давления.
4. Газожидкостный барьер устанавливается в вертикальной трубе VI на конце трубопровода VI. Газожидкостный барьер использует принцип газового уплотнения для предотвращения попадания тепла из конца трубопровода VI в трубу VI и эффективного снижения потерь жидкого азота во время прерывистой и периодической эксплуатации системы.
5.VI. Трубопроводы, управляемые вакуумными изолированными клапанами (VIV): включая вакуумные изолированные (пневматические) запорные клапаны, вакуумные изолированные обратные клапаны, вакуумные изолированные регулирующие клапаны и т. д. Различные типы VIV могут быть модульно комбинированы для управления VIP в соответствии с требованиями. VIV интегрируется с VIP-клапанами на этапе предварительной сборки на заводе-изготовителе, без обработки изоляции на месте. Уплотнительный узел VIV легко заменяется. (HL принимает криогенные клапаны определенной марки, указанные заказчиками, и затем производит вакуумные изолированные клапаны на заводе HL. Некоторые марки и модели клапанов могут быть не пригодны для производства вакуумных изолированных клапанов.)
6. Чистота. Если предъявляются дополнительные требования к чистоте поверхности внутренней трубки, рекомендуется выбирать трубы из нержавеющей стали BA или EP в качестве внутренних труб VIP-класса, чтобы еще больше снизить риск пролития нержавеющей стали.
7. Вакуумный изолированный фильтр: удаляет возможные примеси и остатки льда из резервуара.
8. После нескольких дней или более длительных простоев или планового технического обслуживания крайне необходимо предварительно охладить вибротрубопроводы и терминальное оборудование перед подачей криогенной жидкости, чтобы избежать образования ледяного шлака после прямого попадания криогенной жидкости в вибротрубопроводы и терминальное оборудование. Функция предварительного охлаждения должна быть предусмотрена при проектировании. Она обеспечивает лучшую защиту терминального оборудования и вспомогательного оборудования вибротрубопроводов, такого как клапаны.
9. Подходит как для динамических, так и для статических вакуумно-изолированных (гибких) трубопроводных систем.
10. Динамическая вакуумно-изолированная (гибкая) трубопроводная система: состоит из гибких шлангов и/или труб из нержавеющей стали, соединительных шлангов, вакуумно-изолированной клапанной системы, фазоразделителей и динамической вакуумной насосной системы (включая вакуумные насосы, электромагнитные клапаны и вакуумметры и т. д.). Длина отдельного гибкого шланга из нержавеющей стали может быть изменена в соответствии с требованиями заказчика.
11. Различные типы соединений: можно выбрать вакуумное штыревое соединение (VBC) и сварное соединение. Для соединения типа VBC не требуется изоляция на месте установки.
