Системы охлаждения жидким азотом широко используются в полупроводниковой промышленности и производстве микросхем, включая процессы:
- Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)
- Тест чипа после упаковки COB
Сопутствующие товары
Серия вакуумно-изолированных труб
Серия гибких шлангов с вакуумной изоляцией
Динамическая вакуумная насосная система
Серия вакуумно-изолированных фазовых разделителей
Серия вакуумно-изолированных клапанов
Вспомогательное оборудование для трубопроводной системы
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) была разработана в 1950-х годах для получения полупроводниковых тонкопленочных материалов с использованием технологии вакуумного испарения. С развитием технологии сверхвысокого вакуума применение технологии распространилось на область полупроводниковой науки.
Компания HL заметила спрос на системы охлаждения жидким азотом МЛЭ, организовала техническую базу для успешной разработки специальной системы охлаждения жидким азотом МЛЭ для технологии МЛЭ и полного комплекта системы трубопроводов с вакуумной изоляцией, которая используется на многих предприятиях, в университетах и научно-исследовательских институтах.
К общим проблемам полупроводниковой и микросхемной промышленности относятся:
- Давление жидкого азота в терминальном (MBE) оборудовании. Предотвращение повреждения терминального (MBE) оборудования перегрузкой по давлению.
- Несколько элементов управления впуском и выпуском криогенной жидкости
- Температура жидкого азота в конечном оборудовании
- Разумное количество выбросов криогенного газа
- (Автоматическое) переключение основных и ответвлений линий
- Регулировка давления (снижение) и стабильность VIP
- Очистка резервуара от возможных примесей и остатков льда
- Время заполнения терминального жидкостного оборудования
- Предварительное охлаждение трубопровода
- Сопротивление жидкости в системе VIP
- Контроль потерь жидкого азота при перерывах в работе системы
Вакуумно-изолированная труба (VIP) компании HL изготавливается в соответствии со стандартом ASME B31.3 Pressure Pipeing. Опыт проектирования и способность контроля качества обеспечивают эффективность и рентабельность завода заказчика.
РЕШЕНИЯ
Компания HL Cryogenic Equipment поставляет заказчикам системы трубопроводов с вакуумной изоляцией, соответствующие требованиям и условиям полупроводниковой и микросхемной промышленности:
1.Система менеджмента качества: ASME B31.3 Нормы и правила по трубопроводам высокого давления.
2. Специальный фазовый сепаратор с несколькими входами и выходами для криогенной жидкости с функцией автоматического управления соответствует требованиям по выбросам газа, рециркулируемому жидкому азоту и температуре жидкого азота.
3. Адекватная и своевременная конструкция выхлопных газов гарантирует, что конечное оборудование всегда работает в пределах расчетного значения давления.
4. Газожидкостный барьер размещается в вертикальной трубе VI в конце трубопровода VI. Газожидкостный барьер использует принцип газового уплотнения для блокировки тепла от конца трубопровода VI в трубопровод VI и эффективно снижает потери жидкого азота во время прерывистой и периодической работы системы.
5.VI Трубопровод, управляемый серией вакуумно-изолированных клапанов (VIV): включая вакуумно-изолированный (пневматический) запорный клапан, вакуумно-изолированный обратный клапан, вакуумно-изолированный регулирующий клапан и т. д. Различные типы VIV могут быть модульно объединены для управления VIP по мере необходимости. VIV интегрируется с VIP заводского изготовления на заводе, без обработки изоляции на месте. Уплотнительный узел VIV можно легко заменить. (HL принимает марку криогенного клапана, указанную клиентами, а затем изготавливает вакуумно-изолированные клапаны HL. Некоторые марки и модели клапанов могут не поддаваться изготовлению в виде вакуумно-изолированных клапанов.)
6.Чистота, если есть дополнительные требования к чистоте поверхности внутренней трубы. Клиентам предлагается выбирать трубы из нержавеющей стали BA или EP в качестве внутренних труб VIP, чтобы еще больше сократить утечку нержавеющей стали.
7. Фильтр с вакуумной изоляцией: очистите резервуар от возможных загрязнений и остатков льда.
8.После нескольких дней или более простоя или технического обслуживания крайне необходимо предварительно охладить VI трубопровод и терминальное оборудование перед вводом криогенной жидкости, чтобы избежать образования ледяного шлака после непосредственного ввода криогенной жидкости в VI трубопровод и терминальное оборудование. Функция предварительного охлаждения должна быть предусмотрена при проектировании. Она обеспечивает лучшую защиту терминального оборудования и вспомогательного оборудования VI трубопровода, такого как клапаны.
9. Подходит как для динамических, так и для статических вакуумно-изолированных (гибких) трубопроводных систем.
10. Динамическая вакуумно-изолированная (гибкая) трубопроводная система: состоит из гибких шлангов VI и/или труб VI, соединительных шлангов, вакуумно-изолированной клапанной системы, фазовых сепараторов и динамической вакуумной насосной системы (включая вакуумные насосы, электромагнитные клапаны и вакуумметры и т. д.). Длина одного гибкого шланга VI может быть настроена в соответствии с требованиями пользователя.
11. Различные типы соединений: можно выбрать тип вакуумного байонетного соединения (VBC) и сварное соединение. Тип VBC не требует изолированной обработки на месте.
