Системы охлаждения жидким азотом широко используются в производстве полупроводников и микросхем, в том числе в процессах:
- Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)
- Тест чипа после упаковки COB
сопутствующие товары
Серия труб с вакуумной изоляцией
Серия гибких шлангов с вакуумной изоляцией
Система динамического вакуумного насоса
Серия фазовых сепараторов с вакуумной изоляцией
Серия клапанов с вакуумной изоляцией
Вспомогательное оборудование трубопроводной системы
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИ
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) была разработана в 1950-х годах для получения полупроводниковых тонкопленочных материалов с использованием технологии вакуумного испарения.С развитием технологии сверхвысокого вакуума применение технологии было распространено на область науки о полупроводниках.
Компания HL заметила потребность в системе охлаждения жидким азотом MBE, организовала техническую основу для успешной разработки специальной системы охлаждения жидким азотом MBE для технологии MBE и полного комплекта трубопроводной системы с вакуумной изоляцией, которая использовалась на многих предприятиях, университетах и исследовательских институтах. .
Общие проблемы полупроводниковой и микросхемной промышленности включают:
- Давление жидкого азота в оконечное оборудование (MBE).Предотвращение перегрузки по давлению из-за повреждения терминального оборудования (MBE).
- Несколько регуляторов входа и выхода криогенной жидкости
- Температура жидкого азота в оконечном оборудовании
- Разумное количество выбросов криогенного газа
- (Автоматическое) Переключение магистральных и ответвлений
- Регулировка давления (снижение) и стабильность VIP
- Очистка резервуара от возможных загрязнений и остатков льда
- Время заполнения терминального жидкостного оборудования
- Предварительное охлаждение трубопровода
- Жидкостное сопротивление в системе VIP
- Контроль потери жидкого азота при прерывистой работе системы
Трубы HL с вакуумной изоляцией (VIP) изготавливаются в соответствии со стандартом ASME B31.3 для напорных трубопроводов.Инженерный опыт и способность контроля качества для обеспечения эффективности и рентабельности завода заказчика.
РЕШЕНИЯ
Компания HL Cryogenic Equipment предоставляет заказчикам трубопроводную систему с вакуумной изоляцией, отвечающую требованиям и условиям производства полупроводников и микросхем:
1. Система управления качеством: ASME B31.3 Кодекс трубопроводов под давлением.
2. Сепаратор специальной фазы с несколькими впускными и выпускными отверстиями для криогенной жидкости с функцией автоматического управления соответствует требованиям по выбросу газа, рециркулируемому жидкому азоту и температуре жидкого азота.
3. Адекватная и своевременная конструкция выхлопа гарантирует, что оконечное оборудование всегда работает в пределах расчетного значения давления.
4. Газожидкостный барьер размещается в вертикальной трубе VI в конце трубопровода VI.Газожидкостный барьер использует принцип газового уплотнения для блокирования тепла от конца трубопровода VI до трубопровода VI и эффективного снижения потерь жидкого азота во время прерывистой и прерывистой работы системы.
5.VI Трубопроводы, управляемые клапанами с вакуумной изоляцией (VIV): включая запорный клапан с вакуумной изоляцией (пневматический), обратный клапан с вакуумной изоляцией, регулирующий клапан с вакуумной изоляцией и т. д. Различные типы VIV могут быть объединены в модуль для управления VIP как требуется.VIV интегрируется с заводской сборкой VIP на заводе-изготовителе без обработки изоляции на месте.Уплотнительный узел VIV можно легко заменить.(HL принимает марку криогенного клапана, указанную заказчиком, а затем производит клапаны с вакуумной изоляцией. Некоторые марки и модели клапанов не могут быть преобразованы в клапаны с вакуумной изоляцией.)
6.Чистота, если есть дополнительные требования к чистоте поверхности внутренней трубы.Предлагается, чтобы клиенты выбрали трубы из нержавеющей стали BA или EP в качестве внутренних труб VIP, чтобы еще больше уменьшить утечку нержавеющей стали.
7. Фильтр с вакуумной изоляцией: очистите резервуар от возможных примесей и остатков льда.
8. После нескольких дней или более продолжительного отключения или технического обслуживания очень необходимо предварительно охладить трубопровод VI и терминальное оборудование перед подачей криогенной жидкости, чтобы избежать образования ледяного шлака после того, как криогенная жидкость непосредственно попадает в трубопровод VI и терминальное оборудование.В конструкции следует предусмотреть функцию предварительного охлаждения.Он обеспечивает лучшую защиту оконечного оборудования и вспомогательного оборудования трубопроводов VI, такого как клапаны.
9. Подходит как для динамической, так и для статической вакуумной изоляции (гибкой) системы трубопроводов.
10. Динамическая (гибкая) система трубопроводов с вакуумной изоляцией: состоит из гибких шлангов VI и/или трубы VI, соединительных шлангов, системы клапанов с вакуумной изоляцией, разделителей фаз и системы динамического вакуумного насоса (включая вакуумные насосы, электромагнитные клапаны, вакуумметры и т. д.). ).Длина одного гибкого шланга VI может быть настроена в соответствии с требованиями пользователя.
11. Различные типы соединения: можно выбрать тип вакуумного байонетного соединения (VBC) и сварное соединение.Тип VBC не требует изолированной обработки на месте.