Краткое описание системы трубопроводов с вакуумной изоляцией в криогенном применении в производстве чипов

Ответственность за изготовление и проектирование системы трубопроводов с вакуумной изоляцией для транспортировки жидкого азота несет поставщик.Для этого проекта, если у поставщика нет условий для измерения на месте, чертежи направления трубопровода должны быть предоставлены домом.Затем поставщик спроектирует систему трубопроводов VI для сценариев использования жидкого азота.

Поставщик должен выполнить общий проект трубопроводной системы опытными проектировщиками в соответствии с чертежами, параметрами оборудования, условиями площадки, характеристиками жидкого азота и другими факторами, предоставленными заказчиком.

В содержание проекта входит тип комплектующих системы, определение материала и характеристик внутренних и внешних труб, проект схемы изоляции, схема сборных секций, форма соединения между секциями труб, внутренний кронштейн трубы. , количество и положение вакуумного клапана, устранение газового уплотнения, требования к криогенной жидкости терминального оборудования и т. д. Перед изготовлением эта схема должна быть проверена профессиональным персоналом заказчика.

Содержание проектирования системы трубопроводов с вакуумной изоляцией обширно, здесь описаны приложения HASS и оборудование MBE для решения некоторых распространенных проблем, простой разговор.

1 2

VI Трубопроводы

Резервуар для хранения жидкого азота обычно состоит из оборудования HASS Application или MBE.Хотя труба с вакуумной изоляцией попадает в здание внутри помещения, ее следует избегать в зависимости от планировки помещений в здании и расположения полевой трубы и воздуховода.Поэтому транспортировать жидкий азот к оборудованию нужно не менее чем на сотни метров по трубам.

Поскольку сжатый жидкий азот сам по себе содержит большое количество газа, в сочетании с расстоянием транспортировки даже вакуумная адиабатическая труба будет производить большое количество азота в процессе транспортировки.Если азот не выбрасывается или выбросы слишком низкие, чтобы соответствовать требованиям, это вызовет сопротивление газа и приведет к плохому потоку жидкого азота, что приведет к значительному снижению скорости потока.

Если скорость потока недостаточна, температуру в камере жидкого азота оборудования невозможно контролировать, что в конечном итоге может привести к повреждению оборудования или качества продукции.

Поэтому необходимо рассчитать количество жидкого азота, используемого терминальным оборудованием (приложение HASS или оборудование MBE).В то же время технические характеристики трубопровода определяются также в зависимости от длины и направления трубопровода.

Начиная с резервуара для хранения жидкого азота, если основной трубопровод трубы/шланга с вакуумной изоляцией имеет диаметр DN50 (внутренний диаметр φ50 мм), его ответвление VI трубы/шланга составляет DN25 (внутренний диаметр φ25 мм), а шланг между патрубком и оконечное оборудование — DN15 (внутренний диаметр φ15 мм).Другие фитинги для системы трубопроводов VI, включая фазоразделитель, дегазатор, автоматический газоотвод, криогенный (пневматический) запорный клапан VI, пневматический клапан регулирования расхода VI, обратный клапан VI/криогенный, фильтр VI, предохранительный предохранительный клапан, систему продувки, и вакуумный насос и т. д.

3

Специальный фазовый сепаратор MBE

Каждый специальный сепаратор фаз нормального давления MBE имеет следующие функции:

1. Датчик уровня жидкости и автоматическая система контроля уровня жидкости, быстро отображаемые через электрический блок управления.

2. Функция снижения давления: вход жидкости сепаратора оснащен вспомогательной системой сепаратора, которая гарантирует давление жидкого азота 3-4 бар в основной трубе.При входе в фазоразделитель плавно снижайте давление до ≤ 1 бар.

3.Регулирование потока жидкости на входе: внутри фазового сепаратора расположена система контроля плавучести.Его функция заключается в автоматической регулировке количества потребляемой жидкости при увеличении или уменьшении потребления жидкого азота.Преимущество этого заключается в уменьшении резких колебаний давления, вызванных поступлением большого количества жидкого азота при открытии впускного пневматического клапана, и предотвращении избыточного давления.

4. Буферная функция, эффективный объем внутри сепаратора гарантирует максимальный мгновенный поток устройства.

5. Система продувки: поток воздуха и водяного пара в сепараторе перед проходом жидкого азота и слив жидкого азота в сепаратор после прохождения жидкого азота.

6. Функция автоматического сброса избыточного давления: оборудование при первоначальном прохождении через жидкий азот или при особых обстоятельствах приводит к увеличению газификации жидкого азота, что приводит к мгновенному избыточному давлению во всей системе.Наш сепаратор фаз оснащен предохранительным клапаном и группой предохранительных клапанов, которые могут более эффективно обеспечивать стабильность давления в сепараторе и предотвращать повреждение оборудования MBE из-за чрезмерного давления.

7. Электрический блок управления, отображающий в реальном времени уровень жидкости и значение давления, может устанавливать уровень жидкости в сепараторе и жидком азоте в зависимости от количества контрольных отношений.В то же время.В аварийной ситуации ручное торможение газожидкостного сепаратора в клапан управления жидкостью обеспечивает гарантию безопасности персонала и оборудования на объекте.

4

Многоядерный дегазатор для приложений HASS

Наружный резервуар для хранения жидкого азота содержит большое количество азота, поскольку он хранится и транспортируется под давлением.В этой системе расстояние транспортировки по трубопроводу больше, колен больше и сопротивление больше, что приведет к частичной газификации жидкого азота.Вакуумная труба в настоящее время является лучшим способом транспортировки жидкого азота, однако утечка тепла неизбежна, что также приведет к частичной газификации жидкого азота.Подводя итог, можно сказать, что жидкий азот содержит большое количество азота, что приводит к образованию газового сопротивления, в результате чего поток жидкого азота не является плавным.

Вытяжное оборудование на трубе с вакуумной изоляцией, если нет вытяжного устройства или недостаточный объем выхлопа, приведет к газовому сопротивлению.Как только сопротивление газу сформируется, пропускная способность жидкого азота значительно снизится.

Многоядерный дегазатор, разработанный эксклюзивно нашей компанией, может в максимальной степени обеспечить выброс азота из основной трубы жидкого азота и предотвратить образование газового сопротивления.А многоядерный дегазатор имеет достаточный внутренний объем, может играть роль буферного резервуара и эффективно удовлетворять потребности в максимально мгновенном потоке трубопровода раствора.

Уникальная запатентованная многоядерная структура, более эффективная вытяжная способность, чем у других наших типов сепараторов.

5
Продолжая предыдущую статью, есть некоторые проблемы, которые необходимо учитывать при разработке решений для системы трубопроводов с вакуумной изоляцией для криогенных применений в производстве чипов.

1

Два типа трубопроводной системы с вакуумной изоляцией

Существует два типа системы трубопроводов с вакуумной изоляцией: система статического VI и система динамической вакуумной откачки.

Система Static VI означает, что после изготовления каждой трубы на заводе она вакуумируется до заданной степени вакуума на насосной установке и герметизируется.При полевой установке и вводе в эксплуатацию в течение определенного периода времени не требуется повторная эвакуация на объект.

Преимущество системы Static VI – низкие затраты на обслуживание.После ввода системы трубопроводов в эксплуатацию через несколько лет потребуется техническое обслуживание.Эта вакуумная система подходит для систем, не требующих высоких требований к охлаждению и открытых мест для обслуживания на месте.

Недостатком системы Static VI является то, что вакуум со временем уменьшается.Потому что все материалы постоянно выделяют примеси газов, что определяется физическими свойствами материала.Материал рубашки VI Pipe может снизить количество газа, выделяющегося в процессе, но не может быть полностью изолирован.Это приведет к тому, что вакуум в герметичной вакуумной среде будет становиться все ниже и ниже, вакуумная изоляционная трубка постепенно ослабит охлаждающую способность.

Система динамической вакуумной откачки означает, что после того, как труба изготовлена ​​и сформирована, труба все еще вакуумируется на заводе в соответствии с процессом обнаружения утечек, но вакуум не герметизируется перед поставкой.После завершения установки на месте вакуумные прослойки всех труб должны быть соединены в один или несколько блоков с помощью шлангов из нержавеющей стали, а для вакуумирования труб в полевых условиях должен использоваться небольшой специальный вакуумный насос.Специальный вакуумный насос имеет автоматическую систему, позволяющую контролировать вакуум в любой момент и создавать вакуум по мере необходимости.Система работает 24 часа в сутки.

Недостатком системы динамической вакуумной откачки является то, что вакуум необходимо поддерживать с помощью электричества.

Преимущество системы динамической вакуумной откачки заключается в том, что степень вакуума очень стабильна.Он преимущественно используется в помещениях и в условиях очень высоких требований к производительности вакуума в проектах с очень высокими требованиями.

Наша динамическая система вакуумной откачки, весь мобильный интегрированный специальный вакуумный насос для обеспечения вакуумирования оборудования, удобная и разумная планировка для обеспечения эффекта вакуума, качество вакуумных аксессуаров для обеспечения качества вакуума.

Для проекта MBE, потому что оборудование находится в чистом помещении, и оборудование работает длительное время.Большая часть системы трубопроводов с вакуумной изоляцией находится в закрытом пространстве на промежуточном слое чистого помещения.В дальнейшем невозможно осуществить вакуумное поддержание трубопроводной системы.Это окажет серьезное влияние на долгосрочную работу системы.В результате в проекте MBE используются почти все системы динамической вакуумной откачки.

2

Система сброса давления

В системе сброса давления основной линии используется группа предохранительных клапанов.Группа предохранительных предохранительных клапанов используется в качестве системы защиты при избыточном давлении. VI Трубопроводы не могут быть отрегулированы при нормальном использовании.

Предохранительный клапан является ключевым компонентом, обеспечивающим отсутствие избыточного давления в трубопроводной системе и безопасную работу, поэтому он имеет важное значение при эксплуатации трубопровода.А вот предохранительный клапан по регламенту необходимо отправлять на проверку каждый год.Когда используется один предохранительный клапан, а другой подготовлен, когда один предохранительный клапан снят, другой предохранительный клапан все еще находится в системе трубопровода, чтобы обеспечить нормальную работу трубопровода.

В группу предохранительных предохранительных клапанов входят два предохранительных предохранительных клапана DN15: один для использования, а другой для резерва.При нормальной работе только один предохранительный предохранительный клапан подключен к системе трубопроводов VI и работает нормально.Остальные предохранительные клапаны отсоединены от внутренней трубы и могут быть заменены в любое время.Два предохранительных клапана подключаются и отключаются в состоянии переключения бокового клапана.

Группа предохранительных клапанов оснащена манометром для проверки давления в системе трубопроводов в любое время.

Группа предохранительных клапанов снабжена выпускным клапаном.Его можно использовать для выпуска воздуха из трубы при продувке, а азот можно выгружать при работе системы жидкого азота.

Дав

Криогенное оборудование HL

HL Cryogenic Equipment, основанная в 1992 году, является брендом, дочерним предприятием Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company в Китае.Компания HL Cryogenic Equipment занимается разработкой и производством криогенных трубопроводов с высоковакуумной изоляцией и сопутствующего вспомогательного оборудования.

В современном быстро меняющемся мире предоставление передовых технологий при максимальной экономии средств для клиентов является непростой задачей.В течение 30 лет компания HL Cryogenic Equipment практически во всем криогенном оборудовании и промышленности глубже проникла в сферу применения, накопила богатый опыт и надежность, постоянно исследует и стремится идти в ногу с новейшими разработками во всех сферах жизни, предоставляя клиентам новые, практичные и эффективные решения, делают наших клиентов более конкурентоспособными на рынке.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Время публикации: 25 августа 2021 г.