Краткое описание трубопроводной системы с вакуумной изоляцией в криогенном применении в производстве микросхем

Ответственность за изготовление и проектирование трубопроводной системы с вакуумной изоляцией для транспортировки жидкого азота несет поставщик.Для этого проекта, если у поставщика нет условий для измерения на месте, чертежи направления трубопровода должны быть предоставлены домом.Затем поставщик спроектирует трубопроводную систему VI для сценариев с жидким азотом.

Поставщик должен выполнить общий проект трубопроводной системы опытными проектировщиками в соответствии с чертежами, параметрами оборудования, условиями площадки, характеристиками жидкого азота и другими факторами, предоставленными заказчиком.

Содержание проекта включает в себя тип системных аксессуаров, определение материала и спецификаций внутренних и внешних труб, проектирование схемы изоляции, схему сборной секции, форму соединения между секциями трубы, кронштейн внутренней трубы. , количество и положение вакуумного клапана, устранение газового уплотнения, требования к криогенной жидкости терминального оборудования и т. д. Эта схема должна быть проверена профессиональным персоналом заказчика перед изготовлением.

Содержание проекта системы трубопроводов с вакуумной изоляцией широкое, здесь для приложений HASS и оборудования MBE в некоторых общих проблемах, простой чат.

1 2

VI трубопровод

Резервуар для хранения жидкого азота обычно длинный от оборудования HASS Application или MBE.В то время как труба с вакуумной изоляцией входит в здание внутри помещения, ее следует разумно избегать в соответствии с планировкой помещения в здании и расположением полевой трубы и воздуховода.Поэтому для транспортировки жидкого азота к оборудованию нужны как минимум сотни метров трубы.

Поскольку сам сжатый жидкий азот содержит большое количество газа в сочетании с расстоянием транспортировки, даже вакуумная адиабатическая труба будет производить большое количество азота в процессе транспортировки.Если азот не сбрасывается или выброс слишком низок для удовлетворения требований, это вызовет сопротивление газа и приведет к плохому потоку жидкого азота, что приведет к значительному снижению расхода.

Если скорость потока недостаточна, невозможно контролировать температуру в камере с жидким азотом оборудования, что в конечном итоге может привести к повреждению оборудования или качества продукции.

Следовательно, необходимо рассчитать количество жидкого азота, используемого оконечным оборудованием (приложение HASS или оборудование MBE).При этом технические характеристики трубопровода определяются также в зависимости от длины и направления трубопровода.

Начиная с резервуара для хранения жидкого азота, если магистральный трубопровод трубы/шланга с вакуумной изоляцией имеет диаметр DN50 (внутренний диаметр φ50 мм), его патрубок/шланг VI имеет диаметр DN25 (внутренний диаметр φ25 мм), а шланг между патрубком и терминальное оборудование DN15 (внутренний диаметр φ15 мм).Другие фитинги для системы трубопроводов VI, включая сепаратор фаз, дегазатор, автоматический газоотвод, запорный клапан VI/криогенный (пневматический), пневматический регулирующий клапан VI, обратный клапан VI/криогенный, фильтр VI, предохранительный клапан, система продувки, и вакуумный насос и т. д.

3

Сепаратор специальной фазы MBE

Каждый специальный фазовый сепаратор нормального давления MBE выполняет следующие функции:

1. Датчик уровня жидкости и автоматическая система контроля уровня жидкости, быстро отображаемые через электрический блок управления.

2. Функция снижения давления: вход жидкости в сепаратор оборудован вспомогательной системой сепаратора, которая гарантирует давление жидкого азота 3-4 бар в основной трубе.При входе в фазовый сепаратор постоянно снижайте давление до ≤ 1 бар.

3. Регулирование потока жидкости на входе: внутри сепаратора фаз размещена система контроля плавучести.Его функция заключается в автоматической регулировке количества потребляемой жидкости при увеличении или уменьшении потребления жидкого азота.Преимущество этого заключается в уменьшении резких колебаний давления, вызванных поступлением большого количества жидкого азота, когда впускной пневматический клапан открыт, и предотвращении избыточного давления.

4. Буферная функция, эффективный объем внутри сепаратора гарантирует максимальный мгновенный расход устройства.

5. Система продувки: поток воздуха и водяного пара в сепараторе перед проходом жидкого азота и сброс жидкого азота в сепаратор после прохода жидкого азота.

6. Функция автоматического сброса избыточного давления: оборудование при первоначальном прохождении через жидкий азот или при особых обстоятельствах приводит к увеличению газификации жидкого азота, что приводит к мгновенному избыточному давлению во всей системе.Наш фазовый сепаратор оснащен предохранительным клапаном и группой предохранительных клапанов, которые могут более эффективно обеспечивать стабильность давления в сепараторе и предотвращать повреждение оборудования MBE избыточным давлением.

7. Электрический блок управления, отображающий в режиме реального времени уровень жидкости и значение давления, может устанавливать уровень жидкости в сепараторе и жидкий азот в зависимости от количества управляющих отношений.В то же время.В аварийной ситуации ручное торможение газожидкостного сепаратора в регулирующий клапан жидкости, для обеспечения безопасности персонала и оборудования на объекте, чтобы обеспечить гарантию.

4

Многоядерный дегазатор для приложений HASS

Открытый резервуар для хранения жидкого азота содержит большое количество азота, поскольку он хранится и транспортируется под давлением.В этой системе дальность транспортировки по трубопроводу больше, больше изгибов и больше сопротивление, что вызовет частичную газификацию жидкого азота.Трубка с вакуумной изоляцией в настоящее время является лучшим способом транспортировки жидкого азота, но утечка тепла неизбежна, что также приведет к частичной газификации жидкого азота.Подводя итог, жидкий азот содержит большое количество азота, что приводит к возникновению газового сопротивления, в результате чего поток жидкого азота не является ровным.

Вытяжное оборудование на трубе с вакуумной изоляцией, если нет вытяжного устройства или недостаточный объем выхлопа, приведет к газонепроницаемости.Как только сопротивление газа будет сформировано, пропускная способность жидкого азота будет значительно снижена.

Многоядерный дегазатор, разработанный исключительно нашей компанией, может обеспечить максимальный выброс азота из основной трубы жидкого азота и предотвратить образование газового сопротивления.А многоядерный дегазатор имеет достаточный внутренний объем, может играть роль буферного резервуара для хранения, может эффективно удовлетворять потребности трубопровода с максимальным мгновенным потоком раствора.

Уникальная запатентованная многоядерная структура, более эффективная вытяжная способность, чем у других типов наших сепараторов.

5
Продолжая предыдущую статью, есть некоторые вопросы, которые необходимо учитывать при разработке решений для системы трубопроводов с вакуумной изоляцией для криогенных применений в производстве микросхем.

1

Два типа трубопроводной системы с вакуумной изоляцией

Существует два типа трубопроводных систем с вакуумной изоляцией: статическая система VI и динамическая вакуумная насосная система.

Статическая система VI означает, что после того, как каждая труба изготовлена ​​на заводе, она вакуумируется до заданной степени вакуума на насосном агрегате и герметизируется.При установке в полевых условиях и вводе в эксплуатацию в течение определенного периода времени не требуется повторная эвакуация на площадку.

Преимуществом системы Static VI являются низкие затраты на техническое обслуживание.После того, как система трубопроводов введена в эксплуатацию, через несколько лет требуется техническое обслуживание.Эта вакуумная система подходит для систем, не требующих высоких требований к охлаждению и открытых мест для обслуживания на месте.

Недостатком системы Static VI является то, что вакуум со временем уменьшается.Поскольку все материалы постоянно выделяют следовые газы, что определяется физическими свойствами материала.Материал оболочки VI Pipe может уменьшить количество газа, выделяемого в процессе, но не может быть полностью изолирован.Это приведет к тому, что вакуум в герметичной вакуумной среде будет становиться все ниже и ниже, вакуумная изоляционная трубка будет постепенно ослаблять охлаждающую способность.

Система динамической вакуумной откачки означает, что после того, как труба изготовлена ​​и сформирована, труба все еще вакуумируется на заводе в соответствии с процессом обнаружения утечек, но вакуум не герметизируется перед доставкой.После завершения установки на месте вакуумные промежуточные слои всех труб должны быть соединены в один или несколько блоков шлангами из нержавеющей стали, а для вакуумирования труб в полевых условиях должен использоваться небольшой специальный вакуумный насос.Специальный вакуумный насос имеет автоматическую систему контроля вакуума в любое время и вакуума по мере необходимости.Система работает круглосуточно.

Недостатком динамической вакуумной насосной системы является то, что вакуум необходимо поддерживать с помощью электричества.

Преимущество системы динамической вакуумной откачки заключается в том, что степень вакуума очень стабильна.Он предпочтительно используется в помещении и требует очень высоких требований к производительности вакуума.

Наша динамическая вакуумная насосная система, весь мобильный интегрированный специальный вакуумный насос для обеспечения вакуумного оборудования, удобная и разумная компоновка для обеспечения эффекта вакуума, качество вакуумных аксессуаров для обеспечения качества вакуума.

Для проекта МЛЭ, потому что оборудование находится в чистой комнате, и оборудование работает в течение длительного времени.Большая часть трубопроводной системы с вакуумной изоляцией находится в замкнутом пространстве на промежуточном слое чистого помещения.В дальнейшем реализовать вакуумное обслуживание трубопроводной системы невозможно.Это окажет серьезное влияние на долгосрочную работу системы.В результате в проекте MBE используется почти вся система динамической вакуумной откачки.

2

Система сброса давления

В системе сброса давления главной линии используется группа предохранительных клапанов.Группа предохранительных клапанов используется в качестве системы защиты при избыточном давлении. Трубопровод VI не может быть отрегулирован при нормальной эксплуатации.

Предохранительный предохранительный клапан является ключевым компонентом, обеспечивающим отсутствие избыточного давления в трубопроводной системе, безопасную работу, поэтому он необходим при эксплуатации трубопровода.А вот предохранительный клапан, согласно регламенту, нужно отправлять на проверку каждый год.Когда один предохранительный клапан используется, а другой подготовлен, когда один предохранительный клапан удален, другой предохранительный клапан все еще находится в системе трубопровода, чтобы обеспечить нормальную работу трубопровода.

Группа предохранительных клапанов состоит из двух предохранительных клапанов DN15, одного рабочего и одного резервного.При нормальной работе только один предохранительный клапан соединен с системой трубопроводов VI и работает нормально.Другие предохранительные клапаны отсоединены от внутренней трубы и могут быть заменены в любое время.Два предохранительных клапана подключаются и отключаются через состояние переключения бокового клапана.

Группа предохранительных клапанов оснащена манометром для проверки давления в трубопроводной системе в любое время.

Группа предохранительных клапанов снабжена выпускным клапаном.Его можно использовать для выпуска воздуха из трубы при продувке, а азот можно выпускать при работающей системе жидкого азота.

дав

HL Криогенное оборудование

Компания HL Cryogenic Equipment, основанная в 1992 году, является дочерней компанией Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company в Китае.Компания HL Cryogenic Equipment занимается проектированием и производством систем криогенных трубопроводов с изоляцией высокого вакуума и сопутствующего вспомогательного оборудования.

В сегодняшнем быстро меняющемся мире предоставление передовых технологий при максимальной экономии затрат для клиентов является сложной задачей.В течение 30 лет компания HL Cryogenic Equipment почти во всем криогенном оборудовании и отрасли имеет более глубокое понимание сферы применения, накопила богатый опыт и надежность, а также постоянно исследует и стремится идти в ногу с последними разработками во всех сферах жизни, предоставляя клиентам новые, практичные и эффективные решения делают наших клиентов более конкурентоспособными на рынке.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Время публикации: 25 августа 2021 г.