Поскольку производители полупроводников продолжают переходить к передовым технологиям упаковки, включая интеграцию чиплетов, флип-чип-бондинг и 3D-архитектуру ИС, потребность в высоконадежной криогенной инфраструктуре становится критически важной как никогда. В этих условиях системы, построенные на основеHL КриогенныйТрубы с вакуумной оболочкой, изолированные трубы, сепараторы, клапаны и клапанные коробки играют основополагающую роль в поддержании термической точности и эксплуатационной стабильности.

Криогенный контроль в высокоточных упаковочных линиях

Современные методы упаковки и тестирования микросхем часто включают воздействие экстремальных перепадов температур, особенно во время термических циклов, проверки надежности и низкотемпературной характеризации. Основная функция криогенной установки высокого давления (HL Cryogenic) заключается в следующем:вакуумная изолированная трубаЗадача состоит в подаче криогенной жидкости, как правило, жидкого азота, при минимизации проникновения тепла из окружающей среды чистого помещения.

Благодаря высокому уровню вакуума и многослойной конструкции изоляции, криогенная установка HLвакуумная труба с рубашкойСистема эффективно подавляет утечку тепла, поддерживая жидкость в стабильном жидком состоянии на больших расстояниях. Это обеспечивает стабильную эффективность охлаждения на нескольких испытательных станциях, исключая температурный дрейф, который в противном случае мог бы повлиять на данные о характеристиках полупроводников.

В условиях испытаний, чувствительных к усталости материалов, даже незначительные колебания температуры могут повлиять на точность измерений. Именно поэтому все больше испытательных центров переходят на вакуумные изолированные трубопроводные системы HL Cryogenic в качестве долгосрочного решения для стабильной криогенной подачи.

Стабильность фаз гарантируетсяФазовый сепаратор

В процессе работы часть криогенной жидкости неизбежно испаряется, поглощая тепло окружающей среды. Криогенная система HLфазовый сепараторЭта функция играет решающую роль, отделяя пар от жидкости до того, как он достигнет критически важного оборудования. Это гарантирует, что в чувствительные испытательные камеры и зондовые станции попадет только переохлажденная жидкость.

Предотвращая двухфазный поток, криогенный фазовый сепаратор HL значительно повышает повторяемость процесса и защищает компоненты управления, расположенные ниже по потоку, от нестабильности потока. Это становится все более важным по мере уменьшения размеров устройств и сужения диапазонов допусков в передовых технологических узлах.

Управление эксплуатационной безопасностью осуществляется посредствомКлапаниБлок клапанов

Поток и давление криогенных жидкостей в вакуумной системе трубопроводов HL Cryogenic регулируются с помощью специально разработанных криогенных клапанов HL Cryogenic. Эти компоненты рассчитаны на надежную работу при сверхнизких температурах и быстрых тепловых переходах.

Для дальнейшего повышения безопасности и доступности системы каждый криогенный клапан HL размещен внутри изолированного корпуса. Корпус клапана защищает клапан от попадания влаги, уменьшает образование инея и позволяет техническим специалистам проводить осмотры и регулировки, не нарушая тепловой баланс окружающих помещений.

Эта компактная модульная конфигурация также хорошо соответствует строгим пространственным ограничениям, характерным для заводов по упаковке полупроводников и чистых помещений.

Разумный выбор инфраструктуры для передовых предприятий по производству полупроводников.

По мере того, как отрасль стремится к повышению плотности интеграции и ужесточению стандартов тестирования, криогенная инфраструктура перестает быть второстепенным фактором. Производители полупроводников, инвестирующие в вакуумные изолированные трубы HL Cryogenic, HL Cryogenicвакуумная труба с рубашкой, разделитель, клапан, иклапанный блокЭти системы обеспечивают ощутимые преимущества в эффективности, безопасности и долгосрочном контроле затрат.

В условиях жесткой конкуренции на производстве стабильность криогенной сети может в конечном итоге влиять на выход годной продукции, срок службы оборудования и стабильность работы, что делает решения HL Cryogenic неотъемлемой частью полупроводниковой инфраструктуры.