Молекулярно-лучевая эпитаксия, или МБЭ, представляет собой новый метод выращивания высококачественных тонких пленок кристаллов на кристаллических подложках. В условиях сверхвысокого вакуума нагревательная печь оснащена всеми видами необходимых компонентов и генерирует пар через отверстия, образованные после коллимирующего пучка атомного или молекулярного пучка, прямого впрыска до соответствующей температуры монокристаллической подложки, управления молекулярным пучком для сканирование подложки в то же время может заставить молекулы или атомы в выравнивающих кристаллах слоях образовывать тонкую пленку на подложке «расти».

Для нормальной работы оборудования MBE требуется, чтобы жидкий азот высокой чистоты, низкого давления и сверхчистый жидкий азот непрерывно и стабильно поступал в охлаждающую камеру оборудования. Как правило, резервуар с жидким азотом имеет выходное давление от 0,3 МПа до 0,8 МПа. Жидкий азот при -196 ℃ легко превращается в азот во время транспортировки по трубопроводу. Как только жидкий азот с соотношением газ-жидкость примерно 1: 700 газифицируется в трубопроводе, он будет занимать большой объем пространства для потока жидкого азота и уменьшать нормальный поток в конце трубопровода с жидким азотом. Кроме того, в резервуаре для хранения жидкого азота может быть мусор, который не был очищен. В трубопроводе с жидким азотом наличие влажного воздуха также приведет к образованию ледяного шлака. Если эти примеси попадут в оборудование, это вызовет непредсказуемое повреждение оборудования.

Таким образом, жидкий азот из внешнего резервуара для хранения транспортируется к оборудованию MBE в цеху без пыли с высокой эффективностью, стабильностью и чистотой, при низком давлении, без азота, без примесей, без перебоев в течение 24 часов, такая система управления транспортировкой является качественный продукт.