Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) — это новый метод выращивания высококачественных тонких кристаллических пленок на кристаллических подложках. В условиях сверхвысокого вакуума, благодаря нагревательной печи, оснащенной всеми необходимыми компонентами и генерирующей пар, через отверстия, образующиеся после коллимации пучка, атомный или молекулярный пучок непосредственно инжектируется в монокристаллическую подложку с заданной температурой, одновременно управляя молекулярным пучком и сканируя подложку, что позволяет формировать тонкую пленку из молекул или атомов в слоях выравнивания кристаллов.

Для нормальной работы оборудования МЛЭ требуется непрерывная и стабильная подача в охлаждающую камеру оборудования высокочистого, сверхчистого и находящегося под низким давлением жидкого азота. Как правило, выходное давление в резервуаре для жидкого азота составляет от 0,3 до 0,8 МПа. Жидкий азот при температуре -196 ℃ легко испаряется в азот во время транспортировки по трубопроводу. После того, как жидкий азот с соотношением газ-жидкость около 1:700 газифицируется в трубопроводе, он займет большое количество пространства для потока жидкого азота и снизит нормальный поток в конце трубопровода жидкого азота. Кроме того, в резервуаре для хранения жидкого азота, вероятно, будет находиться неочищенный мусор. Наличие влажного воздуха в трубопроводе жидкого азота также приведет к образованию ледяного шлака. Попадание этих примесей в оборудование приведет к непредсказуемому повреждению оборудования.

Таким образом, жидкий азот из наружного резервуара для хранения транспортируется в оборудование МЛЭ в беспыльном цехе с высокой эффективностью, стабильностью и чистотой, а низкое давление, отсутствие азота, отсутствие примесей, 24 часа непрерывно, такая система управления транспортировкой является квалифицированным продуктом.