Молекулярно-лучевая эпитаксия, или МЛЭ, является новой технологией выращивания высококачественных тонких пленок кристаллов на кристаллических подложках. В условиях сверхвысокого вакуума, нагревательная печь оснащена всеми видами необходимых компонентов и генерирует пар, через отверстия, образованные после коллимации пучка атомного или молекулярного пучка, напрямую инжектируется в соответствующую температуру монокристаллической подложки, одновременно управляя молекулярным пучком к подложке, сканируя ее, он может заставить молекулы или атомы в слоях выравнивания кристаллов формировать тонкую пленку на подложке «рост».

Для нормальной работы оборудования MBE требуется непрерывная и стабильная транспортировка высокочистого, низконапорного и сверхчистого жидкого азота в охлаждающую камеру оборудования. Как правило, резервуар, который обеспечивает жидкий азот, имеет выходное давление от 0,3 МПа до 0,8 МПа. Жидкий азот при -196 ℃ легко испаряется в азот во время транспортировки по трубопроводу. После того, как жидкий азот с соотношением газ-жидкость около 1:700 газифицируется в трубопроводе, он займет большое количество пространства потока жидкого азота и уменьшит нормальный поток в конце трубопровода жидкого азота. Кроме того, в резервуаре для хранения жидкого азота, вероятно, будет мусор, который не был очищен. В трубопроводе жидкого азота наличие влажного воздуха также приведет к образованию ледяного шлака. Если эти примеси попадут в оборудование, это приведет к непредсказуемому повреждению оборудования.

Таким образом, жидкий азот из наружного резервуара для хранения транспортируется в оборудование МЛЭ в беспыльном цехе с высокой эффективностью, стабильностью и чистотой, а низкое давление, отсутствие азота, отсутствие примесей, 24 часа в сутки бесперебойно, такая система управления транспортировкой является квалифицированным продуктом.