Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) — это новая технология выращивания высококачественных тонких пленок кристаллов на кристаллических подложках. В условиях сверхвысокого вакуума, с помощью нагревательной печи, оснащенной всеми необходимыми компонентами и генерирующей пар, через отверстия, образованные после коллимации атомного или молекулярного пучка, осуществляется прямая подача пара на монокристаллическую подложку при соответствующей температуре, одновременно контролируя сканирование подложки молекулярным пучком. Это позволяет молекулам или атомам в кристаллических слоях выравниваться, образуя тонкую пленку на подложке в процессе «роста».

Для нормальной работы оборудования МБЭ требуется непрерывная и стабильная подача высокочистого жидкого азота под низким давлением в охлаждающую камеру оборудования. Как правило, резервуар для жидкого азота имеет выходное давление от 0,3 МПа до 0,8 МПа. Жидкий азот при температуре -196℃ легко испаряется, превращаясь в азот во время транспортировки по трубопроводу. После газификации в трубопроводе жидкий азот с газожидкостным соотношением примерно 1:700 занимает значительное пространство для потока жидкого азота и снижает нормальный поток в конце трубопровода. Кроме того, в резервуаре для хранения жидкого азота могут скапливаться неубранные загрязнения. Наличие влажного воздуха в трубопроводе также приводит к образованию ледяного шлака. Если эти примеси попадают в оборудование, это может привести к непредсказуемым повреждениям оборудования.

Таким образом, жидкий азот из наружного резервуара транспортируется к оборудованию MBE в беспыльном цехе с высокой эффективностью, стабильностью и чистотой, а также низким давлением, без азота и примесей, круглосуточно и без перерывов. Такая система управления транспортировкой является качественным продуктом.