Молекулярно-лучевая эпитаксия, или МЛЭ, — это новый метод выращивания высококачественных тонких пленок кристаллов на кристаллических подложках.В условиях сверхвысокого вакуума нагревательная печь оснащена всеми необходимыми компонентами и генерирует пар через отверстия, образующиеся после коллимации атомного или молекулярного луча, прямую инжекцию до соответствующей температуры монокристаллической подложки, управление молекулярным лучом для Одновременное сканирование подложки позволяет молекулам или атомам в слоях выравнивания кристаллов образовывать тонкую пленку на «росте» подложки.

Для нормальной работы оборудования МПЭ необходимо, чтобы в охлаждающую камеру оборудования непрерывно и стабильно подавался сверхчистый и сверхчистый жидкий азот высокой чистоты, низкого давления.Как правило, выходное давление резервуара с жидким азотом составляет от 0,3 МПа до 0,8 МПа. Жидкий азот при температуре -196 ℃ легко испаряется в азот во время транспортировки по трубопроводу.Как только жидкий азот с соотношением газ-жидкость около 1:700 газифицируется в трубопроводе, он будет занимать большой объем пространства для потока жидкого азота и уменьшать нормальный поток в конце трубопровода жидкого азота.Кроме того, в резервуаре для хранения жидкого азота может находиться мусор, который не был очищен.В трубопроводе жидкого азота наличие влажного воздуха также приведет к образованию ледяного шлака.Если эти примеси попадут в оборудование, это приведет к непредсказуемому повреждению оборудования.

Таким образом, жидкий азот из наружного резервуара для хранения транспортируется к оборудованию MBE в цехе без пыли с высокой эффективностью, стабильностью и чистотой, а также под низким давлением, без азота и примесей, 24 часа непрерывно, такая система управления транспортировкой квалифицированный продукт.