Краткое описание молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ)
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) была разработана в 1950-х годах для получения полупроводниковых тонкопленочных материалов с использованием технологии вакуумного испарения.С развитием технологии сверхвысокого вакуума ее применение распространилось на область науки о полупроводниках.
Мотивацией исследований полупроводниковых материалов является потребность в новых устройствах, которые могут улучшить производительность системы.В свою очередь, новые технологии материалов могут привести к созданию нового оборудования и новых технологий.Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ) — это высоковакуумная технология выращивания эпитаксиального слоя (обычно полупроводника).Он использует тепловой луч исходных атомов или молекул, воздействующий на монокристаллическую подложку.Характеристики процесса в сверхвысоком вакууме позволяют осуществлять металлизацию на месте и выращивание изолирующих материалов на вновь выращенных поверхностях полупроводников, что приводит к образованию чистых интерфейсов.
Технология МБЭ
Молекулярно-лучевую эпитаксию проводили в высоком или сверхвысоком вакууме (1 х 10-8Па) окружающая среда.Наиболее важным аспектом молекулярно-лучевой эпитаксии является ее низкая скорость осаждения, которая обычно позволяет пленке эпитаксиально расти со скоростью менее 3000 нм в час.Такая низкая скорость осаждения требует достаточно высокого вакуума для достижения того же уровня чистоты, что и другие методы осаждения.
Чтобы обеспечить сверхвысокий вакуум, описанный выше, устройство MBE (ячейка Кнудсена) имеет охлаждающий слой, а среда сверхвысокого вакуума в камере роста должна поддерживаться с использованием системы циркуляции жидкого азота.Жидкий азот снижает внутреннюю температуру устройства до 77 Кельвинов (-196 ° C).Низкотемпературная среда позволяет дополнительно снизить содержание примесей в вакууме и обеспечить лучшие условия для осаждения тонких пленок.Поэтому для оборудования MBE требуется специальная система циркуляции охлаждения жидким азотом, чтобы обеспечить непрерывную и стабильную подачу жидкого азота при температуре -196 °C.
Система циркуляции охлаждения жидким азотом
Система циркуляции вакуумного охлаждения жидким азотом в основном включает в себя:
● криогенный резервуар
● основная и ответвительная труба с вакуумной рубашкой/шланг с вакуумной рубашкой
● Специальный фазовый сепаратор MBE и выхлопная труба с вакуумной рубашкой.
● различные клапаны с вакуумной рубашкой
● газожидкостный барьер
● фильтр с вакуумной рубашкой
● система динамического вакуумного насоса
● Система предварительного охлаждения и продувочного подогрева.
Компания HL Cryogenic Equipment заметила потребность в системе охлаждения жидким азотом MBE, организовала техническую основу для успешной разработки специальной системы охлаждения жидким азотом MBE для технологии MBE и полного комплекта вакуумной изоляции.edсистема трубопроводов, которая используется на многих предприятиях, в университетах и научно-исследовательских институтах.
Криогенное оборудование HL
HL Cryogenic Equipment, основанная в 1992 году, является брендом, дочерним предприятием Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company в Китае.Компания HL Cryogenic Equipment занимается разработкой и производством криогенных трубопроводов с высоковакуумной изоляцией и сопутствующего вспомогательного оборудования.
Для получения дополнительной информации посетите официальный сайтwww.hlcryo.comили напишите по электронной почтеinfo@cdholy.com.
Время публикации: 06 мая 2021 г.